ALN-verwarming voor de productie van halfgeleiders

Als professionele fabrikant in China is de hoogwaardige ALN Heater for Semiconductor Manufacturing van GREENWAY een type verwarmingselement gemaakt van aluminiumnitride, een materiaal dat bekend staat om zijn uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, elektrische isolatie-eigenschappen en hoge temperatuurstabiliteit.

ALN-verwarmers worden gebruikt in een verscheidenheid aan toepassingen die nauwkeurige temperatuurregeling en efficiënte warmteoverdracht vereisen.

Vergelijkende voordelen

GREENWAY AlN heeft een thermische geleidbaarheid van ongeveer 140-180 W/mK, wat veel hoger is dan veel andere keramische materialen. Dit zorgt voor een efficiënte warmteoverdracht en een uniforme temperatuurverdeling. Het is een uitstekende elektrische isolator, met een hoge diëlektrische sterkte, waardoor het geschikt is voor toepassingen waarbij elektrische isolatie belangrijk is.

Productparameter

~Uniforme oppervlaktetemperatuur~

Veelgestelde vragen

Vraag 1: Hoe wordt de ALN-verwarmer vervaardigd?

Sinteren: AlN-poeder wordt in de gewenste vorm geperst en vervolgens bij hoge temperaturen gesinterd om een ​​solide, dichte keramische verwarmer te vormen.

Dunnefilm- en dikkefilmtechnologieën: Resistieve verwarmingselementen worden op AlN-substraten aangebracht met behulp van dunnefilm- of dikkefilmtechnologieën, waardoor nauwkeurige verwarmingspatronen ontstaan.

Vraag 2: Waarom worden AlN-verwarmers gebruikt bij de productie van halfgeleiders?

AlN-verwarmers zorgen voor nauwkeurige en uniforme verwarming, wat essentieel is voor productieprocessen van halfgeleiders, zoals wafelverwerking en dunne-filmafzetting. Hun hoge thermische geleidbaarheid en elektrische isolatie zorgen voor efficiënte en betrouwbare prestaties.

Vraag 3: Kunnen AlN-verwarmers worden aangepast voor specifieke toepassingen?

Ja. 

①AlN-verwarmers kunnen in verschillende vormen, maten en vermogens worden vervaardigd om aan specifieke toepassingsvereisten te voldoen en optimale prestaties te garanderen.

② Thermokoppels van het K-type kunnen vooraf worden ingebed voor nauwkeurige temperatuurregeling met gesloten lus.

③De geleverde kleine batches worden hier ondersteund voor prototyping en testen vóór massaproductie.